Home / Thử nghiệm / Cross Section / Đo kích thước trên ảnh mặt cắt: đặt thước thế nào để sai số nhỏ nhất?

Đo kích thước trên ảnh mặt cắt: đặt thước thế nào để sai số nhỏ nhất?

Trạm đo với kính hiển vi quang học nối với màn hình và thước kẹp số đặt trên bàn thí nghiệm sạch — ảnh bìa bài đo kích thước trên ảnh mặt cắt

Hiện tượng phổ biến trong đánh giá mặt cắt: hai phòng thử nhận cùng một mẫu, đo cùng một chỉ tiêu, nhưng cho ra hai con số khác nhau. Nguyên nhân thường không nằm ở thiết bị, mà ở cách hiệu chuẩn và ở định nghĩa điểm đo.

Bài viết này hướng dẫn trình tự đo đúng trên ảnh mặt cắt: hiệu chuẩn thang đo, định nghĩa điểm đo cho từng chỉ tiêu, xử lý sai số, và cách ghi kết quả để có thể tái lập.

1. Vì sao cùng một mẫu lại cho ba con số khác nhau?

Nguyên nhân Cách biểu hiện Ảnh hưởng
Thang đo chưa được hiệu chuẩn đúng Lệch đều theo tỷ lệ giữa các lần đo Sai số hệ thống trên toàn bộ kết quả
Dùng độ phóng đại khác nhau nhưng áp cùng hệ số Con số lệch theo bậc Sai nghiêm trọng, dễ phát hiện nếu đối chiếu
Định nghĩa điểm đo khác nhau Lệch nhỏ, không đều Khó phát hiện, gây tranh luận kéo dài
Mặt cắt bị vát hoặc không phẳng Chiều dày đo được lớn hơn thực tế Sai số phụ thuộc vị trí đo
Người đo chọn điểm đo thiên lệch Kết quả có xu hướng theo kỳ vọng Cần quy định điểm đo bằng hình vẽ
Kính hiển vi quang học với lam hiệu chuẩn đặt trên bàn mẫu và màn hình mờ phía sau
Thang đo chưa hiệu chuẩn làm mọi con số phía sau mất giá trị, dù ảnh rất nét.

2. Hiệu chuẩn thang đo trước mọi phép đo

  1. Dùng lam chuẩn có vạch chia đã biết để xác lập quan hệ giữa khoảng cách thật và số điểm ảnh hoặc số vạch chia.
  2. Thực hiện hiệu chuẩn riêng cho từng vật kính và cho từng mức phóng đại sẽ dùng.
  3. Kiểm tra lại trong ca làm việc hoặc trước mỗi bộ mẫu quan trọng, không chỉ theo lịch định kỳ dài.
  4. Ghi lại kết quả hiệu chuẩn kèm mã thiết bị, ngày, người thực hiện.

Một điểm dễ bỏ sót: khi hệ thống chụp ảnh thay đổi (đổi camera, đổi chiều cao thân kính, đổi phần mềm xử lý ảnh), phải hiệu chuẩn lại dù thiết bị chưa đến kỳ bảo dưỡng.

3. Định nghĩa điểm đo cho từng chỉ tiêu

Chỉ tiêu Định nghĩa điểm đo Lưu ý chống sai số
Chiều dày mạ trong lỗ Đo tại nhiều vị trí trên thành lỗ: gần miệng lỗ, giữa thành và gần đáy Ghi rõ lấy giá trị nhỏ nhất hay giá trị trung bình
Chiều dày lớp phủ bề mặt Đo vuông góc với bề mặt, ở vùng phẳng, tránh vùng chuyển tiếp Tránh đo ở mép vát nơi lớp phủ mỏng bất thường
Vòng tiếp xúc quanh lỗ Đo khoảng cách nhỏ nhất từ thành lỗ tới mép pad Đo ở vị trí nhỏ nhất, không đo ở vị trí rộng nhất
Độ ngấm thiếc lên chân linh kiện Đo chiều cao thiếc bám trên chân so với tổng chiều dày mối hàn Xác định rõ mốc tính từ chân linh kiện hay từ pad
Chiều dày lớp liên kim Đo ở vùng giữa mặt phân cách, nhiều lần đo và lấy trung bình Tránh đo ở vùng có góc hoặc có tạp chất
Kích thước void Đo đường kính lớn nhất và ước lượng diện tích Ghi rõ cách xác định biên void

Cách làm hiệu quả nhất: kèm theo báo cáo một hình vẽ hoặc ảnh có đánh dấu vị trí và hướng đo. Khi hai bên cùng nhìn một hình, tranh luận về con số sẽ ngắn hơn nhiều.

Màn hình hiển thị ảnh mặt cắt bo mạch phóng đại với đường đo ngang
Mỗi chỉ tiêu cần một định nghĩa điểm đo thống nhất, nếu không kết quả giữa các phòng thử sẽ lệch nhau.

4. Xử lý sai số: ba nguồn cần tách riêng

Nguồn sai số Đặc điểm Cách xử lý
Sai số hệ thống Lệch đều, cùng chiều ở mọi lần đo Hiệu chuẩn lại; đối chiếu với mẫu chuẩn
Sai số ngẫu nhiên Dao động quanh giá trị trung bình Đo lặp nhiều lần, lấy trung bình và ghi độ tản mạn
Sai số do chuẩn bị mẫu Lệch theo vị trí trên mặt cắt Đo ở vùng phẳng, kiểm tra lại mẫu trước khi đo

Nguyên tắc thực tế: mỗi con số đưa vào báo cáo nên kèm bối cảnh — số lần đo, giá trị nhỏ nhất và lớn nhất, độ phóng đại. Một con số đơn lẻ không kèm bối cảnh rất khó bảo vệ khi bị chất vấn.

5. Ghi kết quả để tái lập được

  1. Số đo, đơn vị (micromet hoặc mil) và quy đổi nếu cần.
  2. Độ phóng đại và thiết bị đã dùng.
  3. Vị trí đo trên mẫu, mô tả bằng hình hoặc mã vị trí.
  4. Tiêu chuẩn và lớp sản phẩm áp dụng để đánh giá.
  5. Ảnh gốc kèm thang đo hiển thị trong khung hình.
  6. Ngày đo, người đo và người kiểm tra lại.

6. Năm lỗi khiến số đo không tái lập được

  1. Không hiển thị thang đo trong ảnh.
  2. Đo trên ảnh đã qua xử lý tăng tương phản nhưng không lưu ảnh gốc.
  3. Trộn đơn vị đo giữa các mục trong cùng báo cáo.
  4. Không ghi độ phóng đại nên không kiểm tra lại được.
  5. Đo trên mẫu đã bị vát mép mà không ghi nhận tình trạng mẫu.
Lam chuẩn hiệu chuẩn và thước kẹp số nằm trên bàn thí nghiệm dưới ánh sáng đều
Chuẩn đo và thiết bị đo đều phải nằm trong chương trình hiệu chuẩn định kỳ.

7. Câu hỏi thường gặp

Nên báo kết quả bằng micromet hay mil?

Phụ thuộc quy ước của khách hàng và tiêu chuẩn áp dụng. Cách an toàn nhất là ghi rõ đơn vị và kèm quy đổi, tránh nhầm lẫn giữa các bên.

Có nên đo tự động bằng phần mềm không?

Đo tự động giúp giảm sai số chủ quan và tăng tốc độ, nhưng vẫn cần người kiểm tra lại các trường hợp biên — nơi ranh giới lớp không rõ.

Nếu vùng cần đo chỉ rộng vài micromet thì làm thế nào?

Cần tăng độ phóng đại, hiệu chuẩn lại thang đo ở mức phóng đại đó, và đo nhiều lần tại nhiều vị trí để có cơ sở thống kê.

Một mẫu nên đo bao nhiêu điểm?

Không có con số cố định. Nguyên tắc là đủ để thấy được sự phân bố — nếu các điểm đo chênh nhau nhiều, cần tăng số điểm thay vì lấy trung bình ngay.

Sai số cho phép của phép đo là bao nhiêu?

Phụ thuộc thiết bị, độ phóng đại và tiêu chuẩn áp dụng. Nên xác định và ghi rõ trong quy trình nội bộ, đồng thời kiểm tra định kỳ bằng mẫu chuẩn.

8. Kết luận

Chênh lệch giữa các phòng thử hiếm khi do thiết bị, mà thường do ba yếu tố: thang đo chưa hiệu chuẩn đúng, định nghĩa điểm đo khác nhau, và mẫu bị vát hoặc không phẳng. Cả ba đều phòng được bằng quy trình.

Bốn việc nên làm: hiệu chuẩn thang đo cho từng độ phóng đại trước mỗi bộ mẫu; quy định điểm đo bằng hình vẽ thay vì bằng lời; ghi kèm số lần đo và độ tản mạn bên cạnh giá trị trung bình; và luôn lưu ảnh gốc có thang đo.

Nguồn tham khảo

  • IPC-TM-650 Phương pháp 2.1.1 — Microsectioning, phần đo và đánh giá trên mặt cắt.
  • IPC-A-600 và IPC-6012 — Tiêu chí và yêu cầu kỹ thuật liên quan đến chiều dày mạ và vòng tiếp xúc.
  • IPC-7095 — Đánh giá void cho BGA.
  • Yêu cầu về hiệu chuẩn và kiểm soát thiết bị đo trong hệ thống quản lý chất lượng phòng thử.

Bài viết liên quan


Trao đổi thêm


    Miễn trừ trách nhiệm

    Bài viết này là nội dung diễn giải do chúng tôi tự biên soạn; không phải tư vấn pháp lý. Doanh nghiệp cần đối chiếu nguyên văn văn bản/tiêu chuẩn liên quan trước khi áp dụng cho sản phẩm cụ thể.

    Xem thêm: Chính sách bản quyền & Miễn trừ trách nhiệm của ticforall.com.